集微网消息 近日，国内首家光刻机双工件台供应商华卓精科的上市申请已获受理，其在科创板上市的路程上又迈出重要一步。光刻机工件台是光刻机的核心子系统之一，约占光刻机成本的10%到20%。长期以来，全球光刻机被阿斯麦、尼康和佳能完全垄断，作为国内首家光刻机双工件台供应商，华卓精科实现了国产光刻机双工件台从0到1的突破。
此前，集微网在“【IPO价值观】华卓精科核心产品产业化存疑，借力IPO能否助其攻克技术难关？”一文中也提到，华卓精科是目前国内首家能自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，是国产光刻机龙头企业上海微电子的双工件台产品及技术开发的供应商。2017-2019年，华卓精科光刻机双工件台业务从上海微电子确认的收入分别为1,521.37万元、795.00万元和0.00万元，呈逐年下降趋势；并且该文还提到，目前光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠，研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此，能生产高端光刻机的厂商非常少，最先进的7nm光刻机目前就只剩下阿斯麦在生产，日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发。
相比之下，目前国内处于技术领先的上海微电子（也是华卓精科双工件台唯一客户）已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机，与光刻机龙头阿斯麦的差距还是非常明显。正因如此，本文将继续以华卓精科为引，复盘阿斯麦的成功之路，看国产光刻机的发展机会在哪？
国内光刻机产业链
国内光刻机厂商上海微电子成立于2002年，是在科技部和上海市政府共同推动下，由国内多家企业集团和投资公司共同投资组建而成，目前已经发展成国内光刻机龙头企业。公司成立后先后承担了多项国家重大科技专项和02专项光刻机科研任务，公司的前道制造光刻机最高已能实现90nm制程，封装光刻机能满足各类先进封装工艺的需求并且已在国内外市场销售。目前年出货量为60台左右，国内市占率达到80%，全球市占率40%。90nm是光刻机的重要技术台阶，在攻克90nm 节点后，上海微电子有望快速将产品延伸至 65nm、45nm、28nm 制程，实现国产半导体设备的巨大突破。根据证监会公开资料，上海微电子现已接受上市辅导，未来将通过不断创新以及持续运营，向更先进市场迈进。
不过，实现光刻机的国产替代并不是上海微电子一家企业能够单独完成的，需要光刻产业链的企业相互配合。光刻产业链可拆分为两个部分，一是光刻机核心组件，包括光源、镜头、双工作台、浸没系统等关键子系统，二是光刻配套设施，包括光刻胶、光掩模版、涂胶显影设备等。上海微电子将在2021年交付的 28nm光刻机正是源于以下核心企业在各自细分领域的技术突破：上海微电子负责光刻机设计和总体集成，北京科益虹源提供光源系统，北京国望光学提供物镜系统，国科精密提供曝光光学系统，华卓精科提供双工作台，浙江启尔机电提供浸没系统。
资料来源：公司官网，方正证券
阿斯麦光刻机产业链
光刻机的不断发展满足了芯片更小制程、更低成本的生产要求。目前光刻机已经发展至第五代，采用波长 13.5n 极紫外光的 EUV 光源，可实现 7nm 工艺制程，技术要求极高，单台价值为 1.2 亿欧元，阿斯麦成为全球唯一一家能够设计和制造 EUV 光刻机设备的厂商。
阿斯麦成立于1984年，总部位于荷兰艾恩德霍芬。1995年在阿姆斯特丹和纽约证券交易所上市。截至2019年，公司共有来自180个国家及地区的24,900名员工，其中研发人员接近4成，办公室分布在全球16个国家的60个城市。公司全资子公司包括计算光刻集成电路厂商Brion、准分子激光源提供商Cymer、电子束晶圆检测设备厂商Hermes Microvision等。阿斯麦的研发投入数额巨大，2018年阿斯麦的研发费高达17.46亿美元，在全球主要设备和芯片制造国拥有约12000项专利和专利申请，新专利申请大约有300项。 2019年，公司光刻机出货量达到229台，全球份额超过60%，总收入为118.20亿欧元，同比增长8.00%，扣非后归母净利润为25.92亿欧元，同比增长0.03%。
阿斯麦的成功除了内部不断加大研发外，外部也不断整合产业链资源来保持自己在行业内的核心地位。在客户方面，阿斯麦的三大客户英特尔、三星、台积电均是其股东，每年为阿斯麦注入大量资金，阿斯麦则给予股东优先供货权。通过客户入股使得阿斯麦与客户结成紧密的利益共同体，在共享股东先进科技的同时降低自身的研发风险；在供应商方面，阿斯麦通过战略并购与入股，快速打通上游供应链，快速攫取了光源、镜头等光刻机零件领先的技术，占据技术高地，进一步促进公司核心技术的创新；在外部技术合作方面，阿斯麦主导打造了囊括外部技术合作伙伴、研究机构、高等院校的巨大开放式研究网络，并通过建立特有的专利制度管理知识产权和研究成果。
资料来源：公司官网，方正证券
借鉴发展之路
尽管今年疫情爆发，但阿斯麦业绩仍在持续增长。据公司披露，2020年第二季度净销售额为33亿欧元，环比增长超过35%。毛利率为48.2%，环比增长3%，同比增长7%。目前公司积压订单价值超过100亿欧元。阿斯麦还透露，最先进制程目前在向4纳米迈进。相比之下，中芯国际最先进的还是14纳米技术，和阿斯麦的差距还是非常明显。那么，从阿斯麦的成功，我们可以得到哪些借鉴呢？
专注于核心技术研发。作为光刻机绝对龙头，阿斯麦极其重视研发，公司研发人员占比接近4成，研发费用每年接近20亿美元，研发专利目前已经超过12000多个。公司花费大量资金及人力布局于光刻机核心技术的研发，而将光刻机中的大部分零件外包给其他公司生产，通过这种方式有利于公司充分利用有限的资源速取得技术突破，创造巨大的技术壁垒。而作为我国光刻机龙头企业，上海微电子虽然直接持有各类专利及专利申请超过2400项，但是和阿斯麦相比差距仍然较大，未来仍需不断加强核心人才的引进及核心技术的研发力度，才有望追赶上阿斯麦的发展。
资料来源：公开资料
打造上下游利益共同体。阿斯麦通过并购供应商、吸收客户入股的方式打通了上下游产业链，形成一个稳定的利益共同体。在供应商方面，阿斯麦通过战略并购Cymer等企业快速打通了上游供应链，攫取了光源、镜头等光刻机零件领先的技术，进一步促进公司核心技术的创新。台积电等下游客户入股使得阿斯麦与客户结成紧密的利益共同体，客户因此能够获得优先的供货权，阿斯麦也能够获得更稳定的订单来源。上海微电子目前也已经和产业链上下游多个企业签订战略合作协议及购销合同，比如早在2015年7月上海微电子就与华卓精科签署了关于光刻机双工件台业务总金额达1.2亿元的采购合同，通过与产业链企业的深度合作，有望加速光刻机的国产替代进程。
加大外部技术合作。阿斯麦依托自身的资源和技术积累与研究院、高等院校、外部合作伙伴建立起开放的研究网络。通过外部技术合作，用最小的成本最快地实现了技术创新，使得技术快速地更新迭代，不断的保持自己的核心竞争力。上海微电子目前也与清华大学、中国科学院微电子研究所等多个研究机构进行深入合作，共同开发02专项光刻机项目，通过与这些研究院所的合作，攻克技术难关，才能实现先进制程的不断突破。（校对/Arden）返回搜狐，查看更多
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